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过滤器安装后的现场检漏方法　　随着洁净室的广泛使用，对于洁净室过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多，而实际上根据《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）的条文，进行过滤器的安装现场检漏，还有许多问题需要探讨。目的和原理 过滤器现场安装以后检漏是确认过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

过滤器安装以后必须要进行检漏；要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点；要测量过滤器上游的粒子浓度；根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定 K 值；建议采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。

过滤器检漏常用的仪器有：尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器。尘埃粒子计数器用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。5C 气溶胶发生器TDA-5C气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，TDA-5C气溶胶发生器与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量过滤系统。